Yêu cầu bảo vệ ESD cho phòng sạch
Bất kể điều kiện không khí bên ngoài thay đổi như thế nào, Phòng Cleam có thể duy trì các đặc tính của sự sạch sẽ, nhiệt độ, độ ẩm và áp suất như thiết lập ban đầu.
Chức năng chính của phòng sạch là kiểm soát sự sạch sẽ, nhiệt độ và độ ẩm của khí quyển mà các sản phẩm (như chip silicon, v.v.) tiếp xúc, để các sản phẩm có thể được sản xuất và sản xuất trong một không gian môi trường tốt. Không gian này được gọi là "phòng sạch" ".
Theo tiêu chuẩn quốc tế, mức độ phòng sạch chủ yếu dựa trên số lượng hạt trên một mét khối không khí có đường kính lớn hơn tiêu chuẩn phân loại.
Phòng sạch sẽ cần được thiết lập theo các yêu cầu sau:
1. Sàn chống tĩnh điện: điện trở điểm-điểm<10e9ω; point-to-ground=""><>
2. Tấm tường chống tĩnh điện: điện trở điểm-điểm<10e9ω; point-to-ground=""><>
3. Cửa sổ chống tĩnh điện: điện trở điểm-điểm<10e9ω; point-to-ground=""><>
4. Hệ thống nối đất đáng tin cậy: điện trở điểm-điểm<>
5. Hệ thống ion hóa không khí: Xác định phạm vi điện áp cân bằng và thời gian khử năng lượng theo công nghệ xử lý. Khuyến nghị: điện áp cân bằng<>