Yêu cầu tĩnh điện cho phòng sạch
(1) Phòng sạch sẽ
Chất bán dẫn, màn hình tinh thể lỏng phẳng, quang điện tử và y sinh học đều yêu cầu các xưởng sản xuất sạch. Nói chung, phòng sạch đề cập đến các phòng hoặc không gian hạn chế nơi nồng độ các hạt không khí lơ lửng trong không gian được kiểm soát trong giới hạn quy định. Số lượng hạt hạn chế càng nhỏ, độ sạch càng cao.
(2) Tĩnh điện trong phòng sạch
Do yêu cầu sạch sẽ của phòng sạch, sử dụng trong nhà
(1) Một số lượng lớn các vật liệu trang trí với môi trường cách nhiệt cao, sàn nhà, tường, cửa ra vào, trần nhà, vách ngăn, bàn làm việc, ghế, v.v., các vật liệu này rất dễ bị điện khí hóa và sạc bằng ma sát, và không dễ bị rò rỉ và giải phóng.
Sàn nhựa 500V ~ 1000V trong phòng quang, 500V ~ 1500V trong phòng khuếch tán, 500V ~ 1500V trong sàn gạch, 700V cho giấy dán tường nhựa, OV ~ 1000V cho trần nhựa, 500V ~ 3000V cho bề mặt ghế da di động kim loại.
(2) Khi mọi người mặc quần yếm sạch sẽ, giày dép, đi bộ hoặc làm việc, ma sát với các vật liệu, thiết bị và thiết bị khác nhau sẽ tạo ra tĩnh điện, và con người, quần áo và giày dép sẽ được sạc.
Những người mặc quần áo nylon và giày đế cao su bằng nhựa đi chậm trên sàn nhà sạch sẽ, với điện áp tĩnh 7000V ~ 8000V trên cơ thể.
1200V (10%~ 20% RH), 250V (65% ~ 90% RH) có thể được sử dụng để đi bộ trên sàn vinyl, 35000V (10% ~ 20% RH), 1500V (65% ~ 90) có thể được sử dụng để đi bộ trên thảm %RH), dây chuyền lắp ráp chip, quần áo làm việc mà mọi người mặc có thể đạt tới 10KV.
(3) Luồng không khí của điều hòa không khí đi qua bộ lọc hiệu ứng chính, bộ lọc hiệu ứng trung bình và bộ lọc hiệu quả cao, và luồng không khí đầu ra tinh khiết được sạc điện tĩnh điện.
Tấm nhôm cung cấp không khí và trả lại cửa hàng không khí là 500 ~ 1000V.
(4) Một số lượng lớn thiết bị, thiết bị và dụng cụ cách điện cũng là nguồn điện tích tĩnh điện quan trọng. Dây chuyền sản xuất lắp ráp wafer: hộp tải wafer 35KV, vỏ plexiglass 8KV, sản phẩm thạch anh 1.5KV, khay wafer 6KV, bìa acrylic 20KV, mặt bàn 10KV, tủ lưu trữ nhựa 30KV, hộp tải tinh thể sợi thủy tinh trượt trên mặt bàn polypropylene với 10KV.
Nói tóm lại: yêu cầu sạch sẽ của phòng sạch càng cao, sạc tĩnh điện càng nghiêm trọng.