Kiểm soát tĩnh phòng sạch
1. Nguyên tắc cơ bản của điều khiển tĩnh
(1) Xác định mức độ kiểm soát tĩnh (2) giảm thiểu việc tạo ra điện tích tĩnh (3) xả và trung hòa để tăng tốc độ phân tán điện tích tĩnh và ngăn chặn sự tích lũy tĩnh (4) bảo vệ các sản phẩm khỏi thiệt hại ESD
2. Xác định mức độ kiểm soát tĩnh
(1) Phân loại độ nhạy tĩnh của các thành phần, lắp ráp và thiết bị
Cấp độ 1: Khả năng nhạy cảm với 0-1999 V Điện áp tĩnh
Cấp độ 2: Khả năng nhạy cảm với 2000-3999 V Điện áp tĩnh
Cấp độ 3: Khả năng nhạy cảm với 4000-5999 V Điện áp tĩnh Nếu điện áp tĩnh nhạy lớn hơn 16000V, không cần các biện pháp chống tĩnh .}}}}}}}}}}}}}}}}
(2) Phân loại các khu vực làm việc bảo vệ tĩnh điện
Lớp A: tiềm năng tĩnh điện xuống mặt đất được phép không quá ± 100V
Lớp B: Tiềm năng tĩnh điện cho mặt đất được phép không quá ± 1000V . Trong kỹ thuật thực tế, có ba cấp độ của điện tĩnh không quá 100V, 500V, 1000V, v.v.
3. giảm thiểu thế hệ tĩnh
Đây là bước đầu tiên trong quá trình kiểm soát điện ba bước . Trong môi trường làm việc tinh khiết này, các biện pháp tốt nhất là:
(1) cố gắng sử dụng thiết bị có tính chất tương tự để giảm việc tạo ra tĩnh điện trong quá trình tiếp xúc, ma sát và phân tách;
.
(3) Cố gắng sử dụng các quy trình sản xuất làm giảm việc tạo tĩnh do tiếp xúc, ma sát và phân tách .
4. Xả và trung hòa
Đây là bước thứ hai trong quá trình kiểm soát điện ba bước . Các biện pháp phổ biến nhất trong phòng sản xuất vi điện tử sạch đang nối đất, sử dụng vật liệu dẫn điện hoặc tiêu tan để xả điện tĩnh và loại bỏ ion hóa để trung hòa điện tĩnh .
. Xả xuống mặt đất thông qua sàn chống tĩnh điện qua giày chống tĩnh hoặc dây đai . mặt đất, tường, trần nhà, phân vùng, vv . nối đất .
. Được sử dụng để trung hòa các điện tích tĩnh trên môi trường cách điện và dây dẫn bị cô lập .
(3) Vật liệu dẫn điện và tiêu tan
Các vật liệu dẫn điện và tiêu tán cũng là vật liệu tốt để xả điện tĩnh vì độ dẫn của chúng . Chúng cũng an toàn hơn các dây dẫn kim loại . Chúng thường được sử dụng làm thiết bị chống tĩnh như sàn, tường, công trình
5. Ngăn chặn ESD
Bảo vệ sản phẩm là bước cuối cùng trong quá trình kiểm soát điện ba bước . trong phòng sản xuất điện tử sạch, để ngăn chặn ESD xảy ra trên các thành phần hoặc lắp ráp các thành phần của các thành phần " Một phương pháp khác là sử dụng các phương pháp và vật liệu đóng gói phù hợp để xử lý việc đóng gói và vận chuyển các thiết bị nhạy cảm tĩnh . Các vật liệu này có thể bảo vệ hiệu quả điện tích xâm chiếm sản phẩm và giảm hoặc giảm giá cả trong hộp. Thiết bị . Nếu điện áp cho phép trong khu vực EPA đạt 25V, tôi sợ rằng thiết bị, thiết bị, công cụ và kỹ thuật chống tĩnh điện hiện tại của chúng tôi sẽ phải trải qua rất nhiều công việc khó khăn .}